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上海万库真空设备有限公司
主营产品:真空泵,真空测量仪器,真空阀门,氦质谱检漏仪的销售与维修服务
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您现在的位置:上海万库真空设备有限公司 >> 产品展示 >> EdWARDS罗茨泵 EH1200
  EdWARDS罗茨泵 EH1200  
产品名称: EdWARDS罗茨泵 EH1200
产品编号: ZKB-5
产品商标:
产品规格: EdWARDS罗茨泵 EH1200
参考价格: 面议
更新日期: 2013/11/5 9:54:29
被阅次数: 541次
 
  详细说明  

应用

·         半导体制程

·         真空蒸馏

·         真空包装

·         钢脱气

·         薄膜覆层

·         真空冶金

·         低密度风洞

·         空间模拟

·         真空浸渍

·         油干燥和脱气

·         制药冷冻干燥

·         CO2 激光

功能和优势

·         适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

·         它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

·         EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

o    安静的无振动运行。

o    牢靠且防腐蚀。

o    先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

·         防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

·         经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到*低。

·         轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要*高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

·         动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据

 型号

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容积)

310 m3h-1 / 185 ft3min-1

505 m3h-1 / 300 ft3min-1

1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

240 m3h-1 / 141 ft3min-1

350 m3h-1 / 206 ft3min-1

840 m3h-1 / 495 ft3min-1

1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

泵的压力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口连接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

转速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

*大出口压力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

GV80,E2M80

GV160、GV250、
E2M80、E2M175

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

GV400、E2M275

电机功率

 

 

 

 

 

碳氢化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

3 hp

3 hp

4 hp

15 hp

15 hp

环境温度范围

 

 

 

 

 

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

存储

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

*大工作湿度

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

油容量

 

 

 

 

 

齿轮箱

 

 

1.25 l/1.3 qt

3.5 l/3.3 qt

3.5 l/3.3 qt

联轴器盖

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

6.5 l/7 qt

6.5 l/7 qt

轴封储油器

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

1.5 l/1.4 qt

1.5 l/1.4 qt

重量

61 kg/134 lb

74 kg/163 lb

74 kg/163 lb

308 kg/679 lb

400 kg / 882 lb

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